化學氣相沉積工藝交互式系統(tǒng) 項目所在采購意向： 大連理工大學年月政府采購意向 采購單位： 大連理工大學 采購項目名稱： 化學氣相沉積工藝交互式系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他試驗儀器及裝置 采購需求概況 ： 化學氣相沉積工藝交互式系統(tǒng)，包括等離子體化學氣相沉積原理機臺和微波等離子體化學氣相沉積工藝設備臺，以及正常使用所需外圍條件。等離子體化學氣相沉積原理機應包括：傳輸平臺、等離子體系統(tǒng)、腔室系統(tǒng)、軟件控制系統(tǒng)、安全模塊；配備晶圓載臺仿真加熱，腔室?guī)в屑訜崮K，加熱參數可設置；真空系統(tǒng)配備工業(yè)機械真空泵、皮拉尼真空規(guī)、電磁閥、放氣閥；軟件部分配備控制軟件，可視化圖形操作界面，能夠模擬系統(tǒng)實時狀態(tài)參數的顯示；配有虛擬現實模塊，包含自動和手動拆解功能，可還原設備外觀和使用環(huán)境。微波等離子體化學氣相沉積工藝設備，主要參數應滿足：加熱系統(tǒng)溫控范圍≤℃；頻率范圍：±；輸出功率范圍：-連續(xù)可調；有效沉積區(qū)域：≥Φ；配備氣路≥路；制氫機的制備純度≥.%，流量≥/。提供運輸、安裝和售后服務。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。