干法刻蝕工藝交互式系統(tǒng) 項目所在采購意向： 大連理工大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 大連理工大學(xué) 采購項目名稱： 干法刻蝕工藝交互式系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況 ： 干法刻蝕工藝交互式系統(tǒng)，包括感應(yīng)耦合等離子體刻蝕原理機臺和感應(yīng)耦合等離子體刻蝕工藝設(shè)備臺，以及正常使用所需外圍條件。感應(yīng)耦合等離子體刻蝕原理機應(yīng)包括：晶圓傳輸腔、射頻腔、軟件控制系統(tǒng)、安全模塊；反應(yīng)腔配備真空仿真管道系統(tǒng)，射頻電源仿真模型；真空系統(tǒng)配備工業(yè)機械真空泵、皮拉尼真空規(guī)、電磁閥、放氣閥；軟件部分配備控制軟件，可視化圖形操作界面,能夠模擬系統(tǒng)實時狀態(tài)參數(shù)的顯示；配有虛擬現(xiàn)實模塊，包含自動和手動拆解功能，可還原設(shè)備外觀和使用環(huán)境。感應(yīng)耦合等離子體刻蝕工藝設(shè)備，主要參數(shù)應(yīng)滿足：真空室尺寸不小于Φ×，可放置英寸樣片片或小尺寸散片多片；極限真空度：≤×-，泵體具有耐腐蝕性；刻蝕不均勻性：≤±％；刻蝕距離調(diào)節(jié)范圍：-，自動調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度；六路進氣（耐腐蝕），流量控制涵蓋，，擋位；功率-可調(diào)，基座功率不低于。提供運輸、安裝和售后服務(wù)。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。