/英寸精度光刻機(jī) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： /英寸精度光刻機(jī) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的名稱：/英寸精度光刻機(jī) 。采購(gòu)標(biāo)的主要功能：光刻及以上光刻膠圖形 。主要目標(biāo)：最大分辨率：；疊加精度：≤；晶圓尺寸：或 。采購(gòu)數(shù)量：臺(tái) 。采購(gòu)標(biāo)的所需質(zhì)量：光刻出膠圖形及小孔 不同材料基底上可重復(fù) 。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。