減壓硅鍺外延設備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 減壓硅鍺外延設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 采購減壓硅鍺外延設備臺，該設備主要用于面向高性能的晶體管研發(fā)需要的同時引入型與型鍺硅源漏及高遷移率鍺硅溝道，在同一硅片上分別為、溝道提供應力，并形成高遷移率的不同摻雜的鍺硅溝道。以及器件原位摻雜源漏區(qū)域的單晶材料制備。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。