項目位于上海市嘉定區(qū)，總建筑面積4.71萬平方米，包含1棟3層框架結構主廠房，1棟6層框架結構宿舍，1棟1層開閉所和1棟門衛(wèi)。作為盛劍科技產業(yè)布局中的重要一環(huán)，項目旨在打造集研發(fā)、制造、銷售和維保服務于一體的國產先進半導體附屬裝備平臺。項目的順利投產進一步提升了半導體制程附屬設備及關鍵零部件的生產能力、運維能力和產業(yè)競爭力，為半導體產業(yè)的國產化和供應鏈安全注入了新的活力