一、項(xiàng)目編號(hào)：-（招標(biāo)文件編號(hào)：-） 二、項(xiàng)目名稱：中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所超高真空表面激活鍵合模塊加工服務(wù)采購(gòu)項(xiàng)目 三、中標(biāo)（成交）信息 供應(yīng)商名稱：蘇州恩歐西智能科技有限公司 供應(yīng)商地址：蘇州高新區(qū)湘江路號(hào)號(hào)樓南樓樓 中標(biāo)（成交）金額：.（萬(wàn)元） 四、主要標(biāo)的信息 序號(hào) 供應(yīng)商名稱 服務(wù)名稱 服務(wù)范圍 服務(wù)要求 服務(wù)時(shí)間 服務(wù)標(biāo)準(zhǔn) 蘇州恩歐西智能科技有限公司 超高真空表面激活鍵合模塊加工服務(wù) 為了實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的異質(zhì)材料鍵合，一方面需要對(duì)晶圓表面進(jìn)行活化處理提高鍵合晶圓的表面活性；另一方面需要采用真空鍵合腔體進(jìn)一步抑制晶圓表面鈍化及副產(chǎn)物的排出 本次加工定制旨在提升異質(zhì)集成材料的自主研制能力，為我國(guó)面向聲學(xué)濾波器件、片上光源、高功率芯片等應(yīng)用提供自主可控的材料保障。 模塊驗(yàn)收完成后個(gè)月 （）具有表面活化系統(tǒng)； （）具有/英寸鍵合臺(tái)； （）具有對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，可見光自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)； （）具有真空系統(tǒng)，表面激活鍵合模塊鍵合腔體真空度&;. ×- ； （）具有常溫鍵合功能； （）模塊必須有鍵合腔, 過(guò)渡腔, 送樣腔三個(gè)腔體； （）鍵合腔體必須有防金屬濺射處理； （） 活化源數(shù)量≥個(gè)。 五、評(píng)審專家（單一來(lái)源采購(gòu)人員）名單： 戎偉 王文琦 施燕 劉文升 伊艾倫（用戶代表） 六、代理服務(wù)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)及金額： 本項(xiàng)目代理費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：號(hào)文 本項(xiàng)目代理費(fèi)總金額：. 萬(wàn)元（人民幣） 七、公告期限 自本公告發(fā)布之日起個(gè)工作日。 八、其它補(bǔ)充事宜 本項(xiàng)目采用綜合評(píng)分法，中標(biāo)供應(yīng)商的評(píng)審總得分為.分。 附件：招標(biāo)文件 九、凡對(duì)本次公告內(nèi)容提出詢問(wèn)，請(qǐng)按以下方式聯(lián)系。 .采購(gòu)人信息 名 稱：中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究....