南方科技大學(xué)氮化物材料氣相沉積設(shè)備意向公開 采購單位: 南方科技大學(xué) 項目名稱: 氮化物材料氣相沉積設(shè)備 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 其他機(jī)械設(shè)備 采購需求概況: 氮化物材料氣相沉積設(shè)備功能是將Ⅱ或Ⅲ族金屬有機(jī)化合物與Ⅵ或Ⅴ族元素的氫化物通入反應(yīng)腔，混合氣體流經(jīng)加熱的襯底表面時發(fā)生熱分解反應(yīng)，并外延生長成化合物單晶薄膜。 聯(lián)系人: 周老師 聯(lián)系電話: 預(yù)計采購時間: - 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)