直流偏壓增強微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)設備 項目所在采購意向： 西安電子科技大學年月政府采購意向 采購單位： 西安電子科技大學 采購項目名稱： 直流偏壓增強微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他電氣機械設備 采購需求概況 ： 直流偏壓增強微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)設備，采購數(shù)量臺，要求設備個月內保修，售后團隊處于國內，售后服務長期有效，廠家通常提供專屬技術顧問電話/微信支持，小時內線上對接，小時內可至現(xiàn)場解決問題，維護方便，價格合理。 具體參數(shù)為：*.微波電源: 功率≥; .微波泄漏率≤/； .水冷式沉積臺，面積≥英寸； .單晶有效生長面積≥英寸； *.微波換向器內天線表面全鍍金； *.≥功率下連續(xù)生長時間≥； .冷卻水:≥/流量可調, 壓差≥.； .功率下, 水溫~℃(不凝露)； .極限真空≤(油泵), ≤- (分子泵)； *.氦檢漏率≤-/； .分子泵排氣速度≥/; .工作壓力~; .≥路，:，:，:，:，:，:； *.直流偏壓-可調； .溫度范圍℃-℃； *.交貨期四個月 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。