深圳職業(yè)技術(shù)大學(xué)紫外光刻機意向公開 采購單位: 深圳職業(yè)技術(shù)大學(xué) 項目名稱: 紫外光刻機 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 其他儀器儀表 采購需求概況: 因?qū)W院科研與教學(xué)實訓(xùn)建設(shè)需要，需采購“紫外光刻機”。光刻工藝是半導(dǎo)體器件制造的核心技術(shù)之一，紫外光刻機是微納加工工藝中必不可少的設(shè)備之一?？紤]到《光刻工藝原理與應(yīng)用》、《半導(dǎo)體物理與器件》和《半導(dǎo)體制造設(shè)備運維》等是集成電路工程技術(shù)專業(yè)（群）的專業(yè)課，根據(jù)集成電路工程技術(shù)專業(yè)的人才培養(yǎng)目標和學(xué)生就業(yè)需要，半導(dǎo)體器件制造中的光刻工藝也是學(xué)生必須掌握的重要技能。 本設(shè)備旨在支持學(xué)生深入學(xué)習(xí)半導(dǎo)體制造過程中光刻工藝的操作技能，同時滿足培養(yǎng)學(xué)生在半導(dǎo)體行業(yè)先進設(shè)備操作和制造工藝研發(fā)等方面能力的需求，每年可支撐課時。目前學(xué)院尚無滿足需求的教學(xué)設(shè)備，購置該設(shè)備對于填補教學(xué)空白、提升教學(xué)質(zhì)量具有重要意義，是項目實施的必要條件。 聯(lián)系人: 馮老師 聯(lián)系電話: 預(yù)計采購時間: - 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準