深圳大學(xué)自動玻璃通孔專用濺鍍機(jī)意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項目名稱: 自動玻璃通孔專用濺鍍機(jī) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 真空應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況: 該濺鍍機(jī)專用于玻璃通孔（）的金屬化工藝，需滿足高深寬比（≥:）通孔的均勻鍍膜要求。設(shè)備需支持硅中介層（）及玻璃基板（×）的濺鍍工藝，兼容英寸晶圓及更大面板級加工需求。需實現(xiàn)多層金屬堆疊（如/、/、/等）的連續(xù)濺鍍，確保薄膜的高附著力、低應(yīng)力及優(yōu)異臺階覆蓋率（≥%）。 預(yù)計采購時間: - 聯(lián)系人: 張老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)