深圳大學(xué)多腔全自動磁控濺射儀意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項目名稱: 多腔全自動磁控濺射儀 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 真空應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況: 多腔全自動磁控濺射儀用于在基片上高效、高精度地沉積單層或多層薄膜材料。其多腔室結(jié)構(gòu)允許在不破壞真空的情況下連續(xù)進行多種材料的濺射沉積，有效避免交叉污染，適用于制備復(fù)雜膜系結(jié)構(gòu)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造（金屬化、阻擋層）、玻璃通孔、硅通孔及前沿科學(xué)研究等領(lǐng)域，滿足高純度、高均勻性、高重復(fù)性的薄膜、高深寬比通孔制備需求。 預(yù)計采購時間: - 聯(lián)系人: 劉老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)