-介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： -介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的名稱：-介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備。采購(gòu)數(shù)量為臺(tái)。采購(gòu)標(biāo)的主要功能：滿足英寸晶圓薄膜刻蝕腔體，腔體數(shù)量為個(gè)，個(gè)腔體為刻蝕，個(gè)腔體為刻蝕，用于刻蝕 等介質(zhì)薄膜材料薄 ，膜片刻蝕內(nèi)均勻性≤%；薄膜片間均勻性≤%，采購(gòu)標(biāo)的需滿足的質(zhì)量，服務(wù)，安全，時(shí)限：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設(shè)備訂單生成后月內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。