為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息，根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔〕號）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下： 序號 采購項目名稱 采購需求概況 預算金額(萬元) 預計采購時間 備注 西安工業(yè)大學高精度光學表面改性設(shè)備 采購內(nèi)容:高精度光學表面改性設(shè)備；主要功能或目標:、真空反應(yīng)腔：①真空反應(yīng)腔配置內(nèi)襯套、減少反應(yīng)腔內(nèi)表面沉積；②內(nèi)壁加熱溫度可到℃或以上；③載物臺：直徑≥，兼容英寸及以下的晶圓片和碎片樣片；④加熱溫度可到℃或以上，配置溫度傳感器，精度±℃；⑤反應(yīng)腔的本底真空≤ - ；真空漏率≤ - ?/。 、真空系統(tǒng)：①預真空室配置單獨的干泵、真空計,預真空室本底真空≤ - ；真空漏率≤ - ?/；②真空系統(tǒng)配置工藝用抽速≥ /的防腐蝕設(shè)計干泵，配置抽速≥ /的防腐蝕設(shè)計渦輪分子泵，本底真空≤ .- ； 、前驅(qū)體源系統(tǒng)：①配置至少路獨立的液體/固體前體源管路；每路前驅(qū)體源管路配置獨立的閥門；路前驅(qū)體源管路種類至少為：路帶管路加熱的直抽管路；路帶管路加熱、前驅(qū)體罐加熱（最高可到℃或以上）、并帶有起泡器的起泡器管路；②可使用的前驅(qū)體源種類至少包括：, , ，以及銦源、鎵源、鋅源、鎳源等；③配置至少路惰性氣體的載氣管路，配置至少路獨立的氣體源（例如： 、、）管路，每路氣體源管路需配有質(zhì)量流量計（）、顆粒過濾器和氣體截止閥；對有毒/腐蝕氣體管路（例如）需配有旁路。 、前驅(qū)體源系統(tǒng)：①配置真遠程等離子體方式或電感耦合等離子源；②等離子體源的射頻功率≥ ，頻率. ；③配有自動匹配盒，可通過固定匹配模式或自動匹配模式穩(wěn)定地起輝；④配置計算機控制的等離子體源關(guān)閉閥（等離子體快門） 、原位實時監(jiān)測系統(tǒng)：①采用激光橢偏儀實時監(jiān)測薄膜生長過程，可進行膜厚的在線測量，還可實時監(jiān)測到原子層沉積工藝每一個循環(huán)的每一個步驟；②該裝置軟件與沉積系統(tǒng)操作軟件相兼容....