等離子化學(xué)氣相沉積 項目所在采購意向： 北京大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 北京大學(xué) 采購項目名稱： 等離子化學(xué)氣相沉積 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 集成電路參數(shù)測量儀 采購需求概況 ： 主要適用于英寸及向下兼容的等離子體化學(xué)氣相沉積薄膜加工工藝，被廣泛應(yīng)用于制造光電子芯片、芯片、微納結(jié)構(gòu)、光學(xué)器件等，是研究微納光子學(xué)和片上光電集成器件制備的必須設(shè)備 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。