計算光刻仿真平臺
項目所在采購意向:
中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向
采購單位:
中國科學(xué)院微電子研究所
采購項目名稱:
計算光刻仿真平臺
預(yù)算金額:
.萬元(人民幣)
采購品目:
-支撐軟件
采購需求概況 :
支持深紫外仿真,支持多波長優(yōu)化;支持傳統(tǒng)光刻光源優(yōu)化,支持掩模優(yōu)化和全版圖圖形優(yōu)化質(zhì)量檢驗
預(yù)計采購時間:
-
備注:
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
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