計算光刻仿真平臺 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項目名稱： 計算光刻仿真平臺 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -支撐軟件 采購需求概況 ： 支持深紫外仿真，支持多波長優(yōu)化；支持傳統(tǒng)光刻光源優(yōu)化，支持掩模優(yōu)化和全版圖圖形優(yōu)化質(zhì)量檢驗 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。