無掩膜直寫光刻系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 無掩膜直寫光刻系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： .單重直寫分辨率；×有效直寫面積；標(biāo)配波長高性能直寫光源；可增配選件-,升級(jí)波長光源至波長光源；最大適用于寸晶圓 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。