項目概況 清華大學"接觸式光刻機采購項目 招標項目的潛在投標人應在登記報名網(wǎng)址：://....獲取招標文件，并于年月日 點分（北京時間）前遞交投標文件。 一、項目基本情況 項目編號：清設招第號 項目名稱：清華大學"接觸式光刻機采購項目 預算金額：. 萬元（人民幣） 采購需求： 包號 名稱 數(shù)量 是否允許進口產(chǎn)品投標 ’’接觸式光刻機 套 是 設備用途介紹 ： 接觸式對準曝光模塊主要通過紫外曝光的方式，實現(xiàn)微納結構圖形的轉換。該模塊還可擴展支持相應尺寸的晶圓鍵合對準工藝，完成晶圓鍵合工藝。該模塊廣泛應用于半導體光電器件、微電子器件、傳感器件的制造加工和納米技術研究。 鍵合模塊能夠實現(xiàn)復雜的芯片堆疊結構，廣泛應用于器件、、 、先進封裝、材料制備等。 簡要技術指標 ： ）接觸式對準曝光模塊：支持晶圓尺寸：英寸和英寸；對準精度：頂部≤±.μ，底部≤±.μ；最小分辨率：≤.μ@真空接觸（英寸晶圓），≤.μ@真空接觸（英寸晶圓）。 ）鍵合模塊：支持晶圓尺寸：英寸；腔體結構：采用符合人體工程學要求的腔體上開蓋設計，鍵合腔體可以完整打開或半開，無須使用機械傳輸工具，預對準后的晶圓組可方便的通過夾持工具直接放入鍵合腔中進行鍵合，方便腔體清潔及不同壓盤的切換，提高使用效率。 合同履行期限：合同簽訂后個月內完成設備交貨。 本項目(不接受 )聯(lián)合體投標。 二、申請人的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； .落實政府采購政策需滿足的資格要求： 需要落實的政府采購政策：扶持小微企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性企業(yè)發(fā)展，優(yōu)先采購節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標志產(chǎn)品等。 .本項目的特定資格要求：）在中華人民共和國境內注冊；）符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定的條件；）通過“信用中國”網(wǎng)站（...）和中國政府采購網(wǎng)（......
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